晶圆片托架的落座检测。
通过与导槽并用的方式设定落座位置。
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂。
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用抗干扰光的变调光方式E5EN-HTPRR2BMD-500手册。
使用环保导线（无滑石粉）。
检测方式：反射型。
检测距离：红外光0~3mm。
动作模式：有晶圆片托架时ON。
导线长：2mE5EN-HTPRR2BMD-500端子部形状:导线直出型E5EN-HTPRR2BMD-500手册。
保护管直径D：φ6.4mm。
保护管长度L：35cm。
导线种类：一般用。
品种丰富的高精度温度传感器系列。
在以往的M3螺钉对应品的基础上，
追加有助于降低配线工时的棒状端子对应品。
温度传感器是用作温控器的热感应部件。
可根据要测量的温度、场所、 周围环境选择。
备有种类、形状、 长度及端子部形状各异的产品E5EN-HTPRR2BMD-500手册。绝对编码型 外径φ50 （牢固型）。
绝对型。
外径 ：φ50。
分辨率最大 ：1024（10位）。
IP65（采用密封轴承提高防油性）。
与PLC、凸轮定位器组合， 可以实现最佳的角度控制。
电源电压：DC12～24V。
输出形式：NPN集电极开路输出E5EN-HTPRR2BMD-500(通讯功能)。
输出代码：格雷二进制。
连接方式：导线引出型。E32-D33种类：特殊光束型；超小型/细径光束，
特长：φ0.8套管，
弯曲半径(mm):R4。
标准检测物体(最小检测物体)(mm) 1：(φ0.005)，
满足多样化需求的光纤单元尺寸：48×96mm。
种类：电源AC/DC24V用E5EN-HTPRR2BMD-500(通讯功能)。
外壳颜色：黑色。
控制输出1：位置比例用继电器输出。
控制输出2：位置比例用继电器输出。
控制模式：位置比例控制。
辅助输出点数：2点。
事件输入点数：2点。
传送输出：传送输出（专用端子）E5EN-HTPRR2BMD-500(通讯功能)。
远程SP：4～20mA输入。
通信：RS-485。
通用温控器新增高性能（高分辨率、高速、高精度输入）型产品。
支持简易运算、预防维护。
采用可通过红外线端口从前面进行通信的新型液晶，
可视角度、对比度得以提升。
高分辨率5位显示/可显示0.01°C。
高速采样周期60ms。
全部机型完整多种（能够热电偶/Pt/模拟输入切换），1台机器支持多种传感器。
还支持远程SP。
增加PV/SV状态显示功能，方便查看温控器的状态（自动/手动、RUN//STOP、报警发生），
可交互显示PV/SVE5EN-HTPRR2BMD-500用户手册。
通过支持软软件（CX-Thermo Ver.4.0）进行简易运算功能（AND/OR逻辑和延时）设定，
能够执行柔性的接点输出E5EN-HTPRR2BMD-500手册。
增加控制输出ON/OFF次数计数功能，可预测温控器内部继电器的故障。
备有位置比例型。