本体：程序型。
尺寸：96×96mm。
类型：基本型（1输入）。
控制模式：标准控制、加热冷却控制。
输出（控制/传送）点数：2点（脉冲+脉冲/电流）。
输助输出（SUB）点数：10点E5AN-R3PT-N怎么调试。
事件输入点数：10点。
串行通信：RS-485。
全新推出高速、高精度数字调节仪（程序型）！
可设定多达32种程序E5AN-R3PT-N
1台可协调运行多达4个通道。
50ms的高速采集。
用CX-Thermo在计算机上轻松设定。晶圆片托架的落座检测。
通过与导槽并用的方式设定落座位置E5AN-R3PT-N怎么调试。
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂。
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用抗干扰光的变调光方式。
使用环保导线（无滑石粉）。种类：直流3线式，屏蔽型。
形状：M12。
检测距离：2mm。
连接方式：导线引出型（2m）。
导线规格：PVC（耐油）。
动作模式NO。
PNP输出。
接近传感器的首选世界顶级的性能和品质。
磁性金属有无检测的标准型。
品种丰富。
可根据条件选择最适用机型。
防相互干扰功能的异频机型品种齐全。
具有优异的耐环境性能。
标准导线的材质为耐油PVC。
检测面采用耐切削油材质。
标准采用导线护套。尺寸：96×96mm。
本体：端子台型流输出E5AN-R3PT-N怎么调试。
控制模式：标准或加热冷却。
辅助输出点数：3点。
加热器用断线、SSR故障、加热器过电流检测功能/ES1B用电源：--。
事件输入点数：--。
传送输出：可传送输出（使用控制输出）。
通信：RS-232C。
96mm、48×96mm见方的通用温控器已升级＆功能/性能提升。
指示精度提升、增加了预防维护功能，性能进一步提升。
增加PV/SV状态显示功能，方便查看温控器的状态
（自动/手动、RUN/STOP、报警发生），可交互显示PV/SV。
增加控制输出ON/OFF次数计数功能，可预防维护温控器内部继电器。
增加了3段显示，可同时显示易于理解的当前值/目标值/操作量。
增加了PF键，分配自动/手动、RUN/STOP等，可实现一键操作。名称：基本单元（倾斜稳定控制）。
电源电压：24VDC由终端单元提供。
控制点数：2。
控制输出1和2：电压输出、2点（用于SSR驱动）。
控制输出3和4：晶体管输出2点（源型）。
辅助输出：无。
功能：加热器断线报警、2；事件输入、无。
通信功能：G3ZA连接端口、RS-485;
来自终端单元、端口A、RS-485。
输入类型：每个通道都可选择热电偶、
铂电阻、模拟电压或模拟电流。
端子：M3端子。
倾斜温度控制用以实现恒定的层次温度。
可对2-32个通道进行倾斜温度控制。
对对16个组进行双通道倾斜温度控制，
或对2个组进行32通道倾斜温度控控制E5AN-R3PT-N使用说明书E5AN-R3PT-N使用说明书。
为每个组设置倾斜温度控制或2-PID控制。
减少了与可编程控制器进行连接时的梯形图，
程序设计工作（同标准控制EJ1型）。
以最佳周期控制直接连接到G3ZA多通道电源控制器，
追求高精度、低噪声。