监测2波长的等离子发光量。
实现了高精度、小型化、低价格。
轻松实现蚀刻和清洁的端点的监测。
轻公地进行蚀刻、清洁的等离子发光的监测。
通过用过滤方式检测2波长，实现小型化、低价格ZFV-SR50技术指标。高精度测量清洁室及工作间的内外压差。
超大量程高精度测量。
搭载SD卡插口。
利用LAN端口连接，可简单地建立监视系统ZFV-SR50
配备可将记录数据简单图形化的PC软件。
用环境可视化软件 （可选件），可实时以波形、
平面图的形式显示检测数据。种类：照射头单元。
产品名称：标准照射头；高性能型ZFV-SR50技术指标。
电缆长度：2m。
UV-LED照射器的成本革命。
热损伤较小的UV-LED照射。
照射头装有大幅度提高了亮度的新UV-LED。
通过增强照度缩短了粘合节拍。
采用40,000小时*长寿型LED，大幅降低运行成本。
与原有灯泡 (LAMP) 方式相比，实现约1/8的超紧凑本体。
搭载可简单、准确设定的彩色液晶显示器。种类：可选件。
品名：底座（ZR-RX45用）。
有力支持着所有现场的测量场合。
安心的全通道绝缘、支持多功能输入。
最大200CH的扩展性 （ ZR-RX45）。
简单LAN连接 （ ZR-RX45/ZR-RX70）。
分类：防滴型，标准型。
接点间隔：G (0.5mm)。基本型开关ZFV-SR50技术指标。
断路容量达15A，且精度高。
备有微动开关的基本型，根据用途不同，
还有基本型、分割接触型、维持接触型等丰富品种。
标准型中还有微小负载用系列。
备有保护端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保护盖和塑封端子型。光学系统：漫反射型。
检测距离：600正负350mm。
光束形状：线光束。
光束直径：16mm×0.3µm。
分辨率：8µm。
电缆长度：0.5m。输入输出电缆。
电缆长度：2m。
同级最高水准的真正除电。
利用传感和可调AC方式实现高速细致的除电。
采用连接结构，保证大范围均匀除电。
数字式离子显示器，轻松准确设定。分类：标准型。
接点间隔：G(0.5mm)。
驱动杆：摆杆，OP小。
端子的种类类：螺丝端子ZFV-SR50使用说明书。
以高精度和丰富品种著称最畅销的基本型开关。
断路容量达155A，且精度高ZFV-SR50使用说明书。
备有微动开关的基本型，根据用途不同，
还有基本型、分割接触型、维持接触型等丰富品种。
标准型中还有微小负载用系列。
备有保护端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保护盖和塑封端子型。