尺寸：48×48mm。
控制输出：继电器输出。
辅助输出：2点(公共通用)。
电源电压：AC100～240V。
端子类型：插入型。
输入类别：全量程多输入。
使用大字体PV显示(白色)，提高可视性E3S-R31使用案例。
选择、操作及设定简便。
输入输出点数等的功能性能充实。
支持应用范围更为广泛。
采用高15.2mm的PV显示(白色)，提高可视性E3S-R31
实现50ms的高速采样。
带辅助输出(最大3点)、事件输入(最大4点)、传送输出、
远程SP输入功能，支持各种应用程序。
E5CC具有进深60mm的纤细机身E3S-R31使用案例。
使用通信转换电缆(另售)与计算机相连
后，无需电源接线即可设定。
也可通过CX-Thermo(另售)轻松设定。
通过无程序通信轻松与PLC相连。
通过组件通信可联合温控器。晶圆片托架的落座检测。
通过与导槽并用的方式设定落座位置。
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂。
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用抗干扰光的变调光方式。
使用环保导线（无滑石粉）。
检测方式：反射型。
检测距离：红外光0~3mm。
动作模式：有晶圆片托架时ON。
导线长：2m。E3S-CD61-M1J检测方式：扩散反射型，
连接方式：接插件中继型（M12），
优越的型（1输入）
控制模式：标准控制、加热冷却控制E3S-R31使用案例。
输出（控制/传送）点数：2点（脉冲电压1点+脉冲电压/电流和电流2点）。
输助输出（SUB）点数：4点。
事件输入点数：2点。
高速、高精度及多重输入输出的通用型数字调节仪，
采用高可视性5位、3行液晶显示器。
高速采样周期适用于要求高速响应的操作。
利用带背光液晶显示器及3行显示，可同时显示当前值、目标值、操作量。
1台数字调节仪可进行多点控制/串联控制/比例控制。
标准配备了各种运算功能。
配备DeviceNet通信功能。
借助通信程序可执行数据设定和数据监控。本体：直流3线式/接插件型 (M12)。
形状：屏蔽，M8。
检测距离：1.5mm。
动作模式：NO。
输出形式：PNP。
恶劣环境下也不易损坏的接近传感器。
全不锈钢机架。
耐铝碎屑。
可嵌入安装至金属（铁）中。
由欧欧洲Ecolab公司认证的耐化学药品性E3S-R31指导手册。
备有导线引出型、直流3线NPN输出、、氟树脂涂层型E3S-R31指导手册。具有更大的传感距离的安全安装。
尺寸：M12，屏蔽。
检测距离：4mm。
连接方式：导线引出型。
机身材料：黄铜。
螺纹长度（总长度）：56(72)。
输出形式：NPN。
动作模式：NO。