E3Z-LS63检测方式:距离设定型。
连接方式:导线引出式（2m）3。
检测距离:2-20mm(BGSmin设定）;2-80mm(BGSmax设定)。
输出方式：NPN输出E5AN-HTPRR202BF-FLK手册。
实现小型、长距离、节省电力和
节省能源的光电传感器的标准型
尺寸：48×48mm。
本体：端子台型。
种类：控制输出1点型（电源AC100～240V用）E5AN-HTPRR202BF-FLK
外壳颜色：银色。
控制输出：继电器输出。
控制模式：标准或加热冷却。
辅助输出点数：2点E5AN-HTPRR202BF-FLK手册。
加热器用断线、SSR故障检测功能：单相加热器用检测功能。
事件输入点数：2点。
传送输出：--。
通信：--。
通用温控器新增高性能（高分辨率、高速、高精度输入）型产品。
支持简易运算、预防维护，采用新型液晶，可视角度、对比度得以提升。
高分辨率的5位显示/可显示0.01°C（实现了48×48mm的小尺寸）。
高速采样周期60ms。
全部机型（热电偶/Pt/模拟输入切换），1台机器支持多种传感器。
增加PV/SV状态显示功能，方便查看温控器的状态。
（自动/手动、RUN/STOP、报警发生），可交互显示PV/SV。
通过支持软件（CX-ThermoVer.4.0）进行简易运算功能（温控器内部继电器的故障保护管长度:75cmE5AN-HTPRR202BF-FLK手册。
保护管直径：D＝6.4。
L2：700mm。
品种丰富的高精度温度传感器系列。
在以往的M3螺钉对应品的基础上，
追加有助于降低配线工时的棒状端子对应品。
温度传感器是用作温控器的热感应部件。
可根据要测量的温度、场所、 周围环境选择。
备有种类、形状、 长度及端子部形状各异的产品。采用单稳示教，即使是抖动的工件也能准确检测。
分类：接插件型。
功能：定时器 响应速度切换。
控制输出：NPN输出。端子部形状:导线直出型。
保护管直径D:φ3.2mm。
保护管长度L：35cm。
导线种类：一般用。
品种丰富的高精度温度传感器系列。
在以往的M3螺钉对应品的基础上，
追加有助于降低配线工时的棒状端子对应品。
温度传感器是用作温控器的热感应部件。
可根据要测量的温度、场所、 周围环境选择。
备有种类、形状、 长度及端子部形状各异的产品。
晶圆片托架的落座检测。
通过与导槽并用的方式设定落座位置。E5AN-HTPRR202BF-FLK通讯手册。
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂脂E5AN-HTPRR202BF-FLK通讯手册。
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用抗干扰光的变调光方式。
使用环保导线（无滑石粉）。
检测方式：反射型。
检测距离：红外光0~3mm。
动作模式：有晶圆片托架时ON。
导线长：2m。