可在0.3~3m的范围内任意设定检测区域而不受背景物体的影响。
内置不稳定状态检查功能，易调节适当的安装方向。
因传感器部分，电源部分组成一体及采用端子台方式而易配线欧姆龙E52-CA20AY D=6.4 NETU 4M。
备有同期用的切换开关和基准脉冲输出端子，
在一个地方使用若干台的场合可防止干拢误动作E52-CA20AY D=6.4 NETU 4M可自由变更检测方向。
使用方便的小型立方体式。
能按正面、侧面(15度)位置更改检测方向。
种类：立方体检测面可变接插件方式/直流型。
形状：屏蔽。
检测距离：20mm。
输出状态：PNP NO+NC（两种输出）。尺寸：96×96mm。
本体：端子台型，温度输入型欧姆龙E52-CA20AY D=6.4 NETU 4M。
种类：控制输出1点型（电源AC/DC24V用）。
外壳颜色：黑色。
控制输出：继电器输出。
控制模式：标准或加热冷却。
辅助输出点数：3点。
加热器用断线、SSR故障、加热器过电流检测功能/ES1B用电源：单相加热器用检测功能。
事件输入点数：--。
传送输出：--。
通信：RS-232C欧姆龙E52-CA20AY D=6.4 NETU 4M。
96mm、48×96mm见方的通用温控器已升级＆功能/性能提升。
指示精度提升、增加了预防维护功能，性能进一步提升。
增加PV/SV状态显示功能，方便查看温控器的状态
（自动/手动、RUN/STOP、报警发生），可交互显示PV/SV欧姆龙温度传感器系列。
增加控制输出ON/OFF次数计数功能，可预防维护温控器内部继电器。
增加了3段显示，可同时显示易于理解的当前值/目标值/操作量。
增加了PF键，分配自动/手动、RUN/STOP等，可实现一键操作。晶圆片托架的落座检测。
通过与导槽并用的方式设定落座位置。
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂欧姆龙温度传感器系列。
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用抗干扰光的变调光方式。
使用环保导线（无滑石粉）。
检测方式：反射型。
检测距离：红外光0~3mm欧姆龙温度传感器系列。
动作模式：有晶圆片托架时ON。
导线长：2m。元件种类 J（IC）。
保护管长度：100mm。
导线长度:1m。
品种丰富的高精度温度传感器系列。
在以往的M3螺钉对应品的基础上，
追加有助于降低配线工时的棒状端子对应品。
温度传感器是用作温控器的热感应部件。
可根据要测量的温度、场所、 周围环境选择。
备有种类、形状、 长度及端子部形状各异的产品。绝对编码型 外径φ50 （牢固型））E52-CA20AY D=6.4 NETU 4M。
绝对型。
外径 ：φ50。
分辨率最大 ：1024（10位）欧姆龙E52-CA20AY D=6.4 NETU 4M。
IP65（采用密封轴承提高防油性）。
与PLC、凸轮定位器组合， 可以实现最佳的角度控制。
电源电压：DC5V。
输出形式：电压输出。
输出代码：二进制。
连接方式：导线引出型。